中型6寸匀胶机

简  述:
WD-TSC200T中型6寸可编程匀胶机,采用分体式结构设计,亚克力透明内腔,7英寸触摸屏,工业级直流电机及高级PLC控制,直观清晰的程序界面与设计,操作简便。内腔可直接取来,方便清洗。
产品型号:
  • WD-TSC200T

性能参数:

适用晶元尺寸范围:Ø10~150mm

旋涂速度:100~10000rpm

转速分辨率:1rpm

旋涂加速度:100-5000rpm/s

最大旋涂时间:3000s

旋涂时间精度:0.1s

可存储多种不同基片的旋转涂敷工艺参数,每个涂敷工艺流程可以设置多步不同的旋转速度

腔体尺寸:Ø270*280*65mm

重量:12KG

配置:标配吸盘一组(10、25、50、100)mm、无油真空泵一台

 

产品特点:

亚克力透明旋涂内腔,美观;可选PP和PTFE

采用分体式结构,易清洁和移动;

7英寸彩色触屏控制,易学易用;

精确设置实验参数,运行状态实时显示;

采用高级PLC程序控制,可编程,实现快速旋涂和多步编程旋涂;

具有电机进胶保护功能;管路易疏通设计;

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