等离子清洗技术原理及特点
一、等离子清洗技术原理
1.什么是等离子体 （Plasma ）？
等离子体是由带正电的正粒子、负粒子（其中包括正离子、负离子、电子、 自由基和各种活性基团等）组成的集合体,其中正电菏和负电菏电量相等故称等离子体,是除固态、液态、气态之外物质存在的第四态－等离子态。
2.等离子设备原理
传统的清洗方法通常使用溶剂、碱性或酸性溶液，但这些方法产生对环境和人体健康的影响，以及清洗效果不佳等问题。等离子清洗机工作原理是通过产生等离子体来清洗物体表面: 在真空状态下，压力越来越小，分子间间距越来越大，分子间力越来越小，利用射频电源产生的高压交变电场将工艺气体震荡成具有高反应活性或高能量的离子，然后与样品表面发生化学反应或物理能量碰撞，来达到相关实验目的。
3.真空等离子清洗机系统组成：
1：抽真空系统（真空泵）
2：等离子发生系统（射频电源、电极）
3：工艺气体控制系统（流量计；氧气、氢气、氮气和氩气等）
4：全自动控制系统
二、等离子清洗技术特点
一、等离子清洗温度低，经等离子清洗后被清洗物是干燥的，无需像其它清洗方法再进行干燥处理，提高效率，因此，特别适合不耐热和不耐溶剂的基底材料。
二、部分处理对象的基材类型，金属、半导体、氧化物和大多数高分子材料都能很好地处理，等离子体的无序性使它可以深入清洗微细孔眼及凹陷部位，可实现整体和局部及复杂结构的清洗。
三、规范的等离子清洗过程不会对产品表面产生损伤，且清洗过程可以在真空环境中进行，清洗表面不会被灰尘、氧化等二次污染。
四、不使用有害溶剂,清洗后也不会产生有害污染物,属于有利于环保的绿色清洗方法。能避免湿法清洗的直接接触使微小精密部件破损变形，使操作者远离有害试剂的危害，降低对环境的污染。
五、在完成清洗去污的同时,还可活化物体表面、如增加表面润湿性能、改善黏着力等。
六、工艺流程短，清洗周期只有几分钟，极大提高生产效率。
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